| 技术指标 |
参数范围 |
| 最大管电压 |
180 千伏 |
| 最大功率 |
15 瓦 |
| 细节检测能力 |
0.3 毫米 |
| 最大体素分辨率（取决于物体大小） |
< 1 µm |
| 几何放大倍率（2D） |
高达1970倍 |
| 几何放大倍率 (3D) |
<300倍 |
| 最大物体重量 |
10 千克/ 22 磅 |
| 图像链 |
200万像素的数字图像链 |
| 操作 |
5轴的样本操作 |
| 2维X射线成像 |
可以 |
| 3维X射线成像 |
可以(可选) |
| 系统尺寸 |
1860 毫米 x 2020 毫米 x 1920 毫米 / 73.2” x 79.5” x 75.6” |
| 辐射安全 |
- 全防辐射安全柜，按照德国ROV（附件2 nr. 3）和美国性能标准21 CFR 1020.40（机柜X射线系统） - 辐射泄漏率: < 1.0 µSv/h从机柜壁的10厘米处测量 |
产品说明:
phoenix nanome|x 是超高分辨率的纳米焦点 X射线检测系统,设计用于检测半导体及SMT行业的高品质的组件和互连.该系统具有极佳的性能和多功能性,可用于二维X射线检测，以及全三维计算机断层扫描(nano ct).有了新的 x|act 软件包,phoenix nanome|x是可选的系统,用以确保满足目前和未来的零缺陷要求.
